1，随着气体压力升高，在弧光放电过程中，单位时间内碰撞次数增加，电子与其他重粒子之间发生充分的能量交换，电子温度与气体温度，离子温度逐渐趋于相等，等离子体由非平衡状态过渡到热平衡状态。

2，等离子体相对与处于浮动电位的物体来说，一半处于正电位。

3，弧光放电级间电压很低，电极上的电流密度很大，阴极附近的高密度电流，大部分由阴极表面的电子携带，而不是由电离形成的正离子携带。

4，真空电弧的电流密度很大，电弧本身的电流在周围感生径向磁场，产生洛伦兹力，在电磁力的作用下，电弧向轴线压缩，产生磁压缩效应

5，冷阴极弧光放电的电子发射机制i主要是场致发射。

6，“起弧”定义：在刻蚀和涂层阶段，由涂层电源提供等离子体，在

等离子体中包含大量的正离子和电子，如果此时在基体和腔体之间加上

负向偏压，则一部分正离子会被吸附到基体上，同时电子会被吸引到腔

体，形成偏压电流。正常情况下,偏压电流均匀分布到基体和腔体之间。

但是特殊情况下，偏压电流突然上升，并且大部分电流都从工件上某个

特定位置流过，这种情况我们称之为“起弧”。起弧现象会引起工件灼

伤，严重甚至报废。

“起弧”原因：关于起弧的原因有很多，在工作中我们发现除了设

备不正常导致偏压电流突然上升外，引起起弧的原因主要有两个。在刻

蚀阶段主要是由于前处理（清洗和喷砂）不充分，导致工件过脏，这些杂

质在等离子体中会被二次电离，从而释放出过多电子，导致偏压电流突

然上升。在涂层阶段，基本上是由于工件在大盘（即装载工件的架子，和

偏压电源阴极直接相连）上未进行正确装载，导致接触电阻不断变化。

因为偏压电压不变，所以电压会集中到电阻最大的地方，导致这个区域

附近的工艺气体发生电离，产生“起弧”。