离子源灯丝的使用周期会因使用者的使用习惯和维护程度不同而千差万别。发现离子源灯丝需要清洗时，使用者应该更具说明仔细的进行操作，正确的清洗和重新安装是至关重要的。除了对离子源灯丝本身的清洗，还应该考虑到其周围部件的，看是否也需要一定程度的清洗。以下对离子源灯丝的清洗作简要的介绍。

在清洗之前，要先检查离子源本体是否有放电现象，有必要的话要用白洁布或者砂纸等除去异常放电痕迹。并且采取相应的预防安全措施，以免发生不必要的意外。所有的试剂和玻璃容器必须是洁净没有受到任何污染的。除此之外还需准备其他备件，如果清洗过程中损毁了灯丝，就需要进行灯丝的更换。

在清洗时，对于离子源专用陶瓷器件，比如陶瓷棒，陶瓷隔垫等，这些部分一般不清洗。如果出现离子源高压放电时，则可以用棉花纤维氧化铝粉擦拭污垢部位。长时间使用的离子源灯丝组件由于灯丝表面有沉积物，沉积物又带有大量的带电离子，所以离子源灯丝很容易在高压下放电。因此，对于离子源灯丝的清洗要十分注意，一不小心就会弄断灯丝。要先把离子源旧灯丝的陶瓷表面用棉花纤粘氧化铝粉进行轻轻的擦拭，其次用水冲洗氧化铝粉，然后用电风吹吹干。

清洗完离子源灯丝后，按照之前拆卸离子源灯丝的顺序，对照离子源说明进行离子源灯丝的安装。整个过程都需要仪器工程师做好卫生工作。工程师应佩戴口罩，手套和帽子。